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突破技術封鎖:我院一研究成果助力“中國芯”

【 發布日期:2020-06-24 | 點擊:


芯片制備技術是我們卡脖子的核心關鍵技術,我國芯片制備技術行業長期以來受制于人。要想實現中國制造2025,自己解決卡脖子的瓶頸技術成為了我們唯一的選擇。制備芯片過程中,有一個非常關鍵的零部件:芯片托盤足彩澳门即时盘,也就是我們俗稱的“石墨基座”。據了解,我國99%以上的石墨基座均靠從美國、德國、日本等發達國家進口足彩澳门即时盘,就這么一塊小小的東西每年花費我們國家高達數百億人民幣。

其實石墨這個材料很常見,關鍵是它表面需要一層碳化硅涂層,目前國內沒有合適的設備來制備這個涂層足彩澳门即时盘,而國外對我們只賣產品,不賣設備?;谶@個現狀,我校趙培教授團隊研發的“智能化學氣相沉積裝置”足彩澳门即时盘,很好地解決了這個問題。

趙培教授和他研發的智能化學氣相沉積裝置

趙培教授畢業于日本東北大學足彩澳门即时盘,至2013年入校以來,主要從事化學氣相沉積法制備各種結構及功能薄膜和涂層(如SiC,SiO2,TiC,TiN,Al2O3及YBCO等)的技術研究。近年來,團隊聚焦“中國芯”戰略,一直致力于MOCVD薄膜制備技術研究,研制了具備自主知識產權的智能化學氣相沉積設備,已發表相關研究SCI論文10余篇,獲得授權發明專利6項。這項技術的具體優勢主要體現在:

1)搭載的“噴液霧化-多元共析液體原料供給系統”解決了以往CVD設備中固體原料蒸發罐供給系統在工業應用中無法長時間提供精確、持續、穩定的原料蒸汽難題。

2)搭載的“智能真空度控制系統”,能精準控制本設備腔體內的壓強足彩澳门即时盘,并能將腔體真空度維持在100-1000 Pa之間的任意設定值足彩澳门即时盘,能保證工業生產時薄膜質量的精準控制。

3)搭載的“智能操控系統”能實現能用電腦精準控制薄膜沉積過程中的每個動作,實現了全自動智能化操作,杜絕了人為操作出現的失誤的情況,解決了樣品可重復性差這一難題。

4)智能安全系統,設備能自行判斷、并應對各種突發事件,例如突然斷電、火災、地震等。

5)遠程操控系統,可以遠程通過手機或其它計算機聯網時時查詢、操控設備狀態,實現無人化操作。

噴液霧化-多元共析液體原料供給系統

該設備創新性地解決了目前化學氣相沉積方法中固體原料蒸發罐供給系統在工業應用中無法長時間提供精確、持續、穩定的原料蒸汽的難題足彩澳门即时盘,能大幅提高碳化硅涂層的沉積速率、精準控制原料的成分比例、能實現沉積過程的全自動化操作。目前,該技術與裝置已在一些企業和研究院所得到廣泛應用足彩澳门即时盘,用于制備碳化硅涂層,助力“中國芯”產業發展。

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